发明名称 SEMICONDUCTOR MEASURING JIG
摘要
申请公布号 JPH05196686(A) 申请公布日期 1993.08.06
申请号 JP19920007181 申请日期 1992.01.20
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 KUMAGAI AKIRA
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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