| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05198689(A) |
申请公布日期 |
1993.08.06 |
| 申请号 |
JP19920032742 |
申请日期 |
1992.01.22 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
II YOSHIKO;MATSUURA MASAZUMI |
| 分类号 |
H01L21/314;H01L21/768;H01L23/522 |
主分类号 |
H01L21/314 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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