发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH05198668(A) 申请公布日期 1993.08.06
申请号 JP19920007193 申请日期 1992.01.20
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 MATSUNAGA EMIKO
分类号 H01L21/301;H01L21/78 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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