发明名称 CLEANING SOLUTION FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH05198546(A) 申请公布日期 1993.08.06
申请号 JP19920008702 申请日期 1992.01.21
申请人 MITSUBISHI GAS CHEM CO INC 发明人 SUGIHARA YASUO;TANAKA KAZUNARI;SAKUMA IKUE
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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