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经营范围
发明名称
CLEANING SOLUTION FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH05198546(A)
申请公布日期
1993.08.06
申请号
JP19920008702
申请日期
1992.01.21
申请人
MITSUBISHI GAS CHEM CO INC
发明人
SUGIHARA YASUO;TANAKA KAZUNARI;SAKUMA IKUE
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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