发明名称 FORMING METHOD FOR CONTACT
摘要
申请公布号 JPH05198791(A) 申请公布日期 1993.08.06
申请号 JP19920029979 申请日期 1992.01.21
申请人 YAMAHA CORP 发明人 OMURA MASAYOSHI
分类号 H01L21/28;H01L29/47;H01L29/872 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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