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发明名称 STEM
摘要
申请公布号 JPH05198699(A) 申请公布日期 1993.08.06
申请号 JP19920031414 申请日期 1992.01.21
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHIBUYA YOSHIKI
分类号 H01L23/12 主分类号 H01L23/12
代理机构 代理人
主权项
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