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经营范围
发明名称
(C2) ;Projektionsbelichtungsger穉t und -verfahren
摘要
申请公布号
DE4301716(A1)
申请公布日期
1993.08.05
申请号
DE19934301716
申请日期
1993.01.22
申请人
HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
OSHIDA, YOSHITADA, FUJISAWA, JP;TAWA, TUTOMU, KATSUTA, JP;SHIBATA, YUKIHIRO, YOKOHAMA, JP;ISHII, SHIGEMI, IBARAKI, JP;NOGUCHI, MINORI, YOKOHAMA, JP;TERASAWA, TSUNEO, OME, JP;MURAYAMA, MAKOTO, FUJISAWA, JP
分类号
F21V8/00;F21V13/12;F21Y105/00;G02B6/04;G02B6/28;G02B6/42;G03B27/54;G03F7/20;G21K5/04
主分类号
F21V8/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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