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经营范围
发明名称
DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPH05198539(A)
申请公布日期
1993.08.06
申请号
JP19920031269
申请日期
1992.01.23
申请人
SONY CORP
发明人
TATSUMI TETSUYA
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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