Fabrication process of a solar cell from a wafer substrate.

摘要

Zur Herstellung einer Solarzelle wird von einer Substratscheibe (1) aus n-dotiertem, einkristallinem Silizium durch elektrochemisches Ätzen eine freitragende Schicht (7) aus n-dotiertem einkristallinem Silizium abgelöst. Dazu werden in der Substratscheibe (1) durch elektrochemisches Ätzen insbesondere in einem fluoridhaltigen, sauren Elektrolyten, in dem die Substratscheibe (1) als Anode verschaltet ist, Löcher (4) gebildet. Bei Erreichen einer Tiefe der Löcher (4), die im wesentlichen der Dicke der freitragenden Schicht (7) entspricht, werden die Prozeßparameter der Ätzung so geändert, daß die freitragende Schicht (7) durch Zusammenwachsen der Löcher abgelöst wird. Aus der freitragenden Schicht (7) wird die Solarzelle hergestellt. Das Verfahren ist an ein und derselben Substratscheibe (1) mehrmals zum Ablösen mehrerer freitragender Schichten (7) anwendbar.