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发明名称 REUSABLE EVAPORATION FIXTURE
摘要
申请公布号 EP0364747(B1) 申请公布日期 1993.08.04
申请号 EP19890117343 申请日期 1989.09.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LUTZ, DAVID L.;MERANDA, KEITH W.;MINTER, RUSSELL B.
分类号 C23C14/04;H01L21/68 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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