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发明名称 LOW LEAKAGE CMOS/INSULATOR SUBSTRATE DEVICES AND METHOD OF FORMING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0305513(B1) 申请公布日期 1993.08.04
申请号 EP19880904716 申请日期 1988.01.19
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 MAYER, DONALD, C.;VASUDEV, PRAHALAD, K.
分类号 H01L29/812;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/324;H01L21/338;H01L21/8238;H01L21/86;H01L27/092 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
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