发明名称 MANUFACTURING APPARATUS FOR POSITIONING AND MONITORING SEMICONDUCTOR COMPONENTS
摘要
申请公布号 EP0330301(B1) 申请公布日期 1993.08.04
申请号 EP19890300355 申请日期 1989.01.16
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HUNT, RONALD EUGENE;WHITEHEAD, VERLON EUGENE
分类号 H05K13/00;B23P21/00;H05K13/02;H05K13/04 主分类号 H05K13/00
代理机构 代理人
主权项
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