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发明名称 PROCESS OF MANUFACTURING A SILICON STRUCTURE ON ISOLATOR
摘要
申请公布号 EP0312466(B1) 申请公布日期 1993.08.04
申请号 EP19880420302 申请日期 1988.09.08
申请人 FRANCE TELECOM 发明人 BOMCHIL, GUILLERMO;HALIMAOUI, AOMAR;HERINO, ROLAND
分类号 H01L21/20;H01L21/762 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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