发明名称 METHOD OF FORMING AN IMPROVED POLY-BUFFERED LOCOS PROCESS
摘要
申请公布号 EP0547908(A3) 申请公布日期 1993.08.04
申请号 EP19920311559 申请日期 1992.12.17
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC. 发明人 WEI, CHE-CHIA;HODGES, ROBERT LOUIS;BRYANT, FRANK RANDOLPH
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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