| 发明名称 |
PREPARATION OF SPUTTERING TARGET COMPONENT ASSEMBLY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05195217(A) |
申请公布日期 |
1993.08.03 |
| 申请号 |
JP19920142797 |
申请日期 |
1992.06.03 |
| 申请人 |
JOHNSON MATTHEY INC |
发明人 |
SUUZAN DEII SUTOROOZAAZU;ROBAATO JII DERANO;GARORUDO ERU SUTEIIDO |
| 分类号 |
B23K15/00;B23K15/04;C23C14/34;H01J37/34 |
主分类号 |
B23K15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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