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发明名称 THIN TITANIUM NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH05193916(A) 申请公布日期 1993.08.03
申请号 JP19920032894 申请日期 1992.01.24
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;EBARA CORP 发明人 SATO MAMORU;FUJII KANESHIGE;HORINO YUJI;KIUCHI MASATO;CHIYATANIHARA AKIYOSHI;NAGASAKA HIROSHI
分类号 C01B21/076;C23C14/06;C23C14/48 主分类号 C01B21/076
代理机构 代理人
主权项
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