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发明名称 INTERCONNECT FOR INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 US5233135(A) 申请公布日期 1993.08.03
申请号 US19910722702 申请日期 1991.06.28
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC. 发明人 CHEN, FUSEN E.;BRYANT, FRANK R.;DIXIT, GIRISH A.
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;H01L23/532 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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