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发明名称 Process for surface treatment with ions
摘要
申请公布号 AU3258693(A) 申请公布日期 1993.08.03
申请号 AU19930032586 申请日期 1992.12.31
申请人 HELMUT HOFFMEISTER 发明人 JURGEN ANDRA
分类号 B01J19/08;B08B7/00;C30B33/00;H01J27/18;H01J37/305;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):C30B33/00;H01L21/00 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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