| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN-FILM ELECTRIC CONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05194095(A) |
申请公布日期 |
1993.08.03 |
| 申请号 |
JP19920007445 |
申请日期 |
1992.01.20 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SATO TOSHIFUMI;ADACHI HIDEAKI;SETSUNE KENTARO |
| 分类号 |
C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C30B29/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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