发明名称 GROWTH OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH05194073(A) 申请公布日期 1993.08.03
申请号 JP19920147700 申请日期 1992.06.08
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 YOSHIDA KIYOTERU;KIKUTA TOSHIO
分类号 C30B11/00;H01L21/208 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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