| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05190781(A) |
申请公布日期 |
1993.07.30 |
| 申请号 |
JP19920195567 |
申请日期 |
1992.07.22 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
OKUMURA YOSHIKI;TAKEUCHI MASAHIKO;ARIMA HIDEAKI |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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