发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05190809(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920004922 申请日期 1992.01.14
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 YAMADA YUZURU
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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