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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05190676(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920020527 申请日期 1992.01.09
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICOM SYST:KK 发明人 TAKAKU MAMORU
分类号 H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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