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经营范围
发明名称
HIGH-PRESSURE VESSEL
摘要
申请公布号
JPH05190459(A)
申请公布日期
1993.07.30
申请号
JP19910163868
申请日期
1991.06.07
申请人
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD
发明人
YAMAZAKI SHUNPEI
分类号
H01L21/205;F17C13/00;H01L31/04
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
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