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发明名称 TEST HEAD ROTATING MECHANISM OF PR0BING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05190616(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920004839 申请日期 1992.01.14
申请人 TOKYO SEIMITSU CO LTD 发明人 MIZUMURA TSUTOMU;TSUTA KIYOAKI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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