发明名称 APPARATUS FOR DEPOSITION OF GAS PHASE LAYERS
摘要
申请公布号 RU1137787(C) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 SU19833562446 申请日期 1983.01.21
申请人 IVANYUTIN L.A.;ARENDARENKO A.A.;OVECHKIN A.A.;BARYSHEV A.V.;MAKSHAKOV V.V.;LUKICHEV A.V. 发明人 IVANYUTIN L.A.;ARENDARENKO A.A.;OVECHKIN A.A.;BARYSHEV A.V.;MAKSHAKOV V.V.;LUKICHEV A.V.
分类号 C30B25/14 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
地址