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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR DEPOSITION OF GAS PHASE LAYERS
摘要
申请公布号
RU1137787(C)
申请公布日期
1993.07.30
申请号
SU19833562446
申请日期
1983.01.21
申请人
IVANYUTIN L.A.;ARENDARENKO A.A.;OVECHKIN A.A.;BARYSHEV A.V.;MAKSHAKOV V.V.;LUKICHEV A.V.
发明人
IVANYUTIN L.A.;ARENDARENKO A.A.;OVECHKIN A.A.;BARYSHEV A.V.;MAKSHAKOV V.V.;LUKICHEV A.V.
分类号
C30B25/14
主分类号
C30B25/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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