| 发明名称 |
OPTICAL DEVICE FOR LASER BEAM MACHINING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05188318(A) |
申请公布日期 |
1993.07.30 |
| 申请号 |
JP19920001838 |
申请日期 |
1992.01.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TERABAYASHI TAKAO;TANAKA HIDEAKI;OSHIDA YOSHITADA |
| 分类号 |
G02B27/09;G02B27/00;G03F7/20;H01S3/00 |
主分类号 |
G02B27/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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