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发明名称 METHOD OF BURYING FINE HOLE
摘要
申请公布号 JPH05190491(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920025676 申请日期 1992.01.16
申请人 NEC CORP 发明人 TSUNENARI KINJI
分类号 H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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