发明名称 AUTOMATIC FOCUSING OF SCAN TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH05190132(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920004021 申请日期 1992.01.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KOMATSU BUNRO;KAGA YASUHIRO
分类号 H01J37/147;H01J37/21;H01J37/28 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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