WASHING DEVICE,申请号JP19920046421-传众专利搜索

发明名称	WASHING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH05190519(A)	申请公布日期	1993.07.30
申请号	JP19920046421	申请日期	1992.01.17
申请人	HITACHI LTD	发明人	HONMA YOSHIFUMI;FUJIKURA SEIJI
分类号	B08B1/02;B08B3/04;B65G49/06;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68	主分类号	B08B1/02
代理机构		代理人
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