发明名称 FORMATION METHOD OF BORON NITRIDE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH05189818(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920002020 申请日期 1992.01.09
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 KURATANI NAOTO;OGATA KIYOSHI;NISHIYAMA SATORU;EBE AKINORI
分类号 G11B7/26 主分类号 G11B7/26
代理机构 代理人
主权项
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