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发明名称 DEVICE FOR DISTRIBUTING MICROWAVE ENERGY FOR EXCITING PLASMA
摘要
申请公布号 JPH05190294(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920009196 申请日期 1992.01.22
申请人 METAL PROCESS:SARL 发明人 PERETEIE JIYATSUKU
分类号 C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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