| 发明名称 |
POSITION CONTROL MECHANISM AND MANUFACTURE OF ITS LATTICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05190615(A) |
申请公布日期 |
1993.07.30 |
| 申请号 |
JP19920001853 |
申请日期 |
1992.01.09 |
| 申请人 |
RICOH CO LTD |
发明人 |
OZAKI MOTOMI;TAKAHASHI JUNICHI;HORIGUCHI HIROYUKI |
| 分类号 |
G01B7/34;G01Q10/02;G01Q10/04;G01Q60/10;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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