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发明名称 WASHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05190527(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920003337 申请日期 1992.01.10
申请人 NEC KAGOSHIMA LTD 发明人 MOTOJIMA HIDETO
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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