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发明名称 MANUFACTURING DEVICE OFR SEMICONDUCTOR DEVICE, AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05190463(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920004617 申请日期 1992.01.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KOBAYASHI TORU
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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