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经营范围
发明名称
ELECTRON-BEAM APPARATUS AND ELECTRON-BEAM REDUCTION AND TRANSFER APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH05190430(A)
申请公布日期
1993.07.30
申请号
JP19920027325
申请日期
1992.01.17
申请人
NIKON CORP
发明人
NAKASUJI MAMORU
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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