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发明名称 PASTING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
摘要
申请公布号 JPH05190406(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920021815 申请日期 1992.01.10
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 KAWASHIMA HIDEAKI
分类号 H01L21/02;H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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