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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05190490(A) 申请公布日期 1993.07.30
申请号 JP19920005737 申请日期 1992.01.16
申请人 NEC CORP 发明人 HIRATA TAKESHI
分类号 H01L21/268;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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