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发明名称 SYSTEM MIT ELEKTRONENSTRAHLPRUEFSONDE ZUM ANALYSIEREN INTEGRIERTER SCHALTUNGEN.
摘要
申请公布号 DE3688612(D1) 申请公布日期 1993.07.29
申请号 DE19863688612 申请日期 1986.11.12
申请人 SCHLUMBERGER TECHNOLOGIES INC., SAN JOSE, CALIF., US 发明人 RICHARDSON, NEIL, MOUNTAIN VIEW 94043 CALIFORNIA, US
分类号 H01L21/66;G01Q30/04;G01Q30/16;G01R31/302;G01R31/305;G01R31/3183;H01J37/28;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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