发明名称 Air shower
摘要
申请公布号 GB2226947(A) 申请公布日期 1990.07.18
申请号 GB19880025871 申请日期 1988.11.04
申请人 * ESCO SCIENTIFIC PRODUCTS 发明人 JIMMY * CHUA;YAM CHAI * ONG;LAY YEW * LIM
分类号 B08B5/02;H01L21/00 主分类号 B08B5/02
代理机构 代理人
主权项
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