发明名称 |
SURFACE TREATING METHOD OF WAFER |
摘要 |
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申请公布号 |
KR930007098(B1) |
申请公布日期 |
1993.07.29 |
申请号 |
KR19900006345 |
申请日期 |
1990.05.04 |
申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. |
发明人 |
TANAKA, MASATO |
分类号 |
H01L21/304;H01L21/027;H01L21/306;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
H01L21/304 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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