发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02218145(A) 申请公布日期 1990.08.30
申请号 JP19890038381 申请日期 1989.02.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TSUJIMOTO KOICHI
分类号 H01L29/73;G01R31/26;H01L21/331;H01L21/66;H01L21/76;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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