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Werkstücke aus Stahl werden durch Aufkohlen der Oberfläche und anschließendes Abschrecken gehärtet. Das Aufkohlen wird mittels einer Plasmaentladung im Vakuum in Anwesenheit von gasförmigen Kohlenwasserstoffen bei Spannungen zwischen 200 und 2000 Volt, vorzugsweise zwischen 300 und 1000 Volt, und vorzugsweise unter Beimischung von Argon, durchgeführt. Das Plasma wird mittels im Vakuum betriebener Elektroden erzeugt, von denen die Katode als Werkstückhalter dient und im Impulsbetrieb betrieben wird. Um dabei auch bei ungleichmäßig geformten Werkstücken eine gleichmäßige Härteverteilung zu erzielen und den Massenstrom an Kohlenstoff zu verringern, wird a) das Aufkohlen bei einem Gesamtdruck zwischen 14 und 30 mbar (1400 bis 3000 Pa) durchgeführt, b) die Impulsdauer zwischen 110 und 10.000 µs (Mikrosekunden) gewählt, c) die Pausendauer zwischen 30 und 10.000 µs gewählt und d) die der Plasmaentladung zugeführte mittlere Leistung wird nach Beendigung der Anfahrphase durch Verringerung der Impulsdauer und/oder durch Verlängerung der Pausendauer entweder kontinuierlich oder schrittweise zurückgenommen, derart, daß der Kohlenstoffgehalt an der besagten Oberfläche ohne Unterbrechung des Impulsbetriebes zu keinem Zeitpunkt die Sättigungsgrenze des Werkstoffs für Kohlenstoff im Austenitgebiet überschreitet.
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