发明名称 IONIZATION GAUGE AND METHOD OF USING AND CALIBRATING SAME
摘要
申请公布号 EP0537770(A3) 申请公布日期 1993.07.28
申请号 EP19920117733 申请日期 1992.10.16
申请人 GRANVILLE-PHILLIPS COMPANY 发明人 BILLS, DANIEL GRANVILLE;BORENSTEIN, MICHAEL DALE;ARNOLD, PAUL CLARKE
分类号 G01L21/30;G01L21/32;G01L27/00;H01J41/04;(IPC1-7):H01J41/04 主分类号 G01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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