发明名称 |
COMPOSITE TYPE SCANNING TUNNEL ELECTRONIC APPARATUS |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH05187814(A) |
申请公布日期 |
1993.07.27 |
申请号 |
JP19920005767 |
申请日期 |
1992.01.16 |
申请人 |
HITACHI CONSTR MACH CO LTD |
发明人 |
KURODA HIROSHI;FUKUCHI YASUHIKO |
分类号 |
G01B7/34;G01Q30/04;G01Q60/10;G01Q60/12;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|