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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR FORMING AMORPHOUS METAL AND SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING AMORPHOUS METAL FILM
摘要
申请公布号 JPH05186867(A) 申请公布日期 1993.07.27
申请号 JP19910089580 申请日期 1991.03.28
申请人 SONY CORP 发明人 FUMEI FUMEI
分类号 C23C14/34;C23C14/14;C23C14/22;C23C14/48;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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