| 发明名称 |
DETERMINATION OF CRYSTAL STRUCTURE AND CRYSTALLOGRAPHIC DIRECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05187996(A) |
申请公布日期 |
1993.07.27 |
| 申请号 |
JP19920002506 |
申请日期 |
1992.01.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
NANBA YUKIO;ASADA TAKAO;MATSUNO YASUHIRO;OZAKI YOSHIO |
| 分类号 |
G01N21/17;G01N33/20;H01L21/02 |
主分类号 |
G01N21/17 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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