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发明名称 MANUFACTURE OF MOS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03248462(A) 申请公布日期 1991.11.06
申请号 JP19900046165 申请日期 1990.02.26
申请人 NEC CORP 发明人 IWASA SHOICHI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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