发明名称 |
ROLLING BEARING FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH05187446(A) |
申请公布日期 |
1993.07.27 |
申请号 |
JP19920203567 |
申请日期 |
1992.07.30 |
申请人 |
NTN CORP |
发明人 |
KONDO HIROMITSU;MIZUTANI TAKAHIRO;SATOU NORIHIDE |
分类号 |
F16C33/62;F16C33/32;F16C33/66 |
主分类号 |
F16C33/62 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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