发明名称 PROCESS FOR PREPARING SUPERCONDUCTING OXIDE THIN FILMS
摘要
申请公布号 US5231075(A) 申请公布日期 1993.07.27
申请号 US19910713490 申请日期 1991.06.12
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 NAGAISHI, TATSUOKI;HATTORI, HISAO;ITOZAKI, HIDEO
分类号 C04B41/87;C01G1/00;C23C14/28;H01L39/24 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
主权项
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